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技術(shù)規格及參數
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1、參數分析儀主機 (1)可支持9個(gè)功能模塊插槽。 (2)可支持6個(gè)雙通道PMU模塊。 (3)提供軟件包: 軟件具有450多個(gè)應用測試庫。用戶(hù)界面提供觸滑或點(diǎn)擊控制功能,能為現代半導體、材料和工藝表征提供高級測試定義、參數分析、圖表繪制和自動(dòng)化功能。 (4)內置接地單元:提供雙三同軸輸出端接口、5路接線(xiàn)柱。最大電流:使用雙三同軸連接時(shí)為2.6A;使用5路接線(xiàn)柱時(shí)為9.5A。 (5)15.6英寸觸摸屏高清顯示器(1920x1080) 。 (6)接口:USB,VGA,HDMI,RS-232,以太網(wǎng)。 (7)內置測量視頻:測試視頻由全球應用工程師提供,分為4 種語(yǔ)言 2、高功率源測量單元 2個(gè) (1)功率:21W (2)電流測量量程:8個(gè)量程,1A,100mA,10mA,1mA,100μA,10μA,1uA,100nA (3)電流測量最小分辨率:100fA (4)電壓測量量程:4個(gè)量程,200V,20V,2V,200mV (5)電壓測量最小分辨率:0.2uV (6)電流源量程:8個(gè)量程,1A,100mA,10mA,1mA,100μA,10μA,1uA,100nA (7)電流源最小分辨率:5pA (8)電壓源量程:4個(gè)量程,200V,20V,2V,200mV (9)電壓源最小分辨率:5uV (10)輸入阻抗:>10^13Ω (11)測量接口:每個(gè)SMU上三個(gè)迷你三同軸(母頭)接口,用于Force、Sense 和Sense Lo,一個(gè)定制15針D-Sub(母頭)接口 3、遠程前端放大器模塊1個(gè) (1)功能:可擴展任意SMU型號的電流范圍,擴展SMU提供5個(gè)小量程10nA,1nA,100pA,10pA,1pA,最小分辨率:10aA。 (2)輸入接口:一個(gè)定制接口,15 針,D-Sub (公頭) (3)輸出接口:兩個(gè)三同軸接口(母頭) 4、C-V多頻率電容單元,1個(gè) (1)AC阻抗測量 (C-V, C-f, C-t) (2)測量參數:CP-G, CP-D, CS-RS, CS-D, R-jX, Z-theta (3)頻率范圍:1kHz ~ 10MHz (4)源頻率精度:±0.1% (5)信號輸出電平范圍:10 mVrms ~ 1Vrms (6)分辨率:1mVrms (7)輸出阻抗:100Ω (8)DC 電壓偏置范圍:±30V(60V差分) (9)DC 電壓偏置分辨率:1.0mV (10)最大DC電流:10mA (11)掃描參數 :DC偏置電壓, 頻率, AC電壓 (12)掃描類(lèi)型: 線(xiàn)性, 自定義 (13)掃描方向:向上掃描, 向下掃描 (14)測量點(diǎn)數: 4096 (15)輸出接口: 四個(gè)SMA接口(母頭) 5、IV/CV多通道開(kāi)關(guān)模塊,1個(gè) 功能:實(shí)現DC I-V 和C-V模塊自動(dòng)切換.最多四條通道。 6、所響應產(chǎn)品必須是全新、未使用過(guò)的原裝合格正品(包括零部件),如安裝或配置了軟件的,須為正版軟件
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